等离子体按粒子温度可分为平衡态（电子温度=离子温度）与非平衡态（电子温度>>离子温度）两类。
非平衡态等离子体电子温度可上万度，离子及中性离子可低至室温，即体系表观温度仍很低，故称“
低温等离子体”，一般由气体放电产生。
低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术，低温等离子体处理废气的原理为：
当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，以达到降解污染物的目的。
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量高能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在1eV～10eV，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。其能量传递过程为：
电场+电子 高能电子
受激电子
高能电子+分子（或原子） 受激分子 活性基因
自由基
活性基因+分子（或原子） 生成物+热
活性基因+活性基因 生成物+热
在本项目治理贵公司印刷废气，在介质阻挡放电（DBD）的低温等离子体发生器中，这些废气因子的苯环被高能电子轰击后首先被打开成碎片。
而尾气中氧气和水气在高能电子作用下发生下列反应
O2 ＋ e O?＋ O3 + O2-
H2O + e HO?＋ H
废气因子解离的碎片粒子与氧气及O?＋ O3 + O2-发生较为复杂的化学反应，降解为CO2和H2O等。
